Cleaner主要產品概要
清潔產品面向高精細化和高功能化的顯示屏、半導體及電子器件市場以日本化藥獨有的開發(fā)力為武器,目前已擁有優(yōu)越性能的產品陣容,對電子工業(yè)產業(yè)整體的發(fā)展作出貢獻。
當前,產品已被顯示領域與半導體領域的廠商所廣泛使用。
液 晶
適用于 LCD 彩色濾光片的顯影液產品系列。 運用獨特的濃縮技術與表面活性劑最優(yōu)化配比技術,對于細微的 BM 顯影,也可實現(xiàn)良好的顯影性。
(1)HAC:混合了活性劑的負膠型顯影液,用于LCD彩色濾光片RGB的光刻膠。通過表面活性劑的效果,可以實現(xiàn)細線寬的顯影。可改善顯影效果偏差。
(2)DX:混合了活性劑的負膠型顯影液,用于RGB。擁有優(yōu)異的顯影性能,由于是高濃縮型,因此可減少藥劑的使用量。產品屬于有機堿類,因此對金屬的腐蝕性弱,可對應COA(Color Filter On Array)型制程。
用于制程返工的剝離液。具有極低的對玻璃刻蝕速率,可對應RGB,BM,UV cure/Heat cure OC, PS等各種抗試劑,剝離性能強。
一種有機型清洗液,適合去除輕油及油脂、磨料、薄膜浮垢、廢紙塵埃等各種污漬
。
半 導 體
我們擁有應對于高精細光刻工藝的各種顯影液、剝離液的產品。此外還包括在WLP工藝中使用的厚膜負性光刻膠以及干膜光刻膠用剝離液、干式蝕刻后殘渣去除液等。還可以提供符合各種法律規(guī)定的產品以及不含NMP等環(huán)境友好型的藥液。
用于圖像傳感器的彩色濾光片、以及用于鋁布線防腐蝕功能的TMAH型產品系列。
混合了有機堿和活性劑的負膠/正膠型顯影液。用于半導體和分立器件的制造工藝。選用可以優(yōu)化光刻膠分散性的活化劑,不會在圖形上留下光刻膠殘留物,并且可以去除因光刻膠引起的細小氣泡,可直接進入下一道工序。
(1)常規(guī)級光刻膠用剝離液
NK poleve 517
NK poleve PRS100
用于去除常規(guī)的液態(tài)光刻膠。
(2)高性能光刻膠剝離液
NK poleve 496
NK poleve 480
可去除DRIE等工藝對應改性變質的光刻膠,厚膜型液態(tài)光刻膠也可對應。
(3)干膜用剝離液
NK poleve 117
NK poleve SH
專門用于去除干膜的剝離液產品系列。
半導體應用工藝事例
在先進封裝工藝當中,Micro Bump,Cu pillar, RDL以及TSV的生成,都是日本化藥的剝離液發(fā)揮性其優(yōu)異性能的領域。
準水型清洗溶劑。通過使用原液,實現(xiàn)高去污力的準水型產品系列。 通過對水溶性溶劑和特殊表面活性劑的混合,去除細微部位里殘留的助焊劑。
一種混合多種溶劑的碳氫清洗液,對于通常的油份、助焊劑具有極強的去除性能。具有強大的滲透力和溶解力,可以去除附著在細微部位上的污垢(油份和助焊劑)。